高精度直线电机线性位移台短行程

Name: 高精度直线电机线性位移台 短行程
SKU: CES-ZX

可拼接多轴直线电机位移台显微观测重复定位运动模组

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产品说明

CORZC CES-ZX系列高精度直线电机线性位移台采用行波磁场电磁推力直接驱动技术，相较于传统“旋转电机+丝杆”传动方案，省去了联轴器、丝杆、导轨副等中间机械传动部件，实现驱动力无摩擦、零背隙地直接传递至运动平台。由于彻底消除了螺杆回程差和长期机械磨损，该系列产品具备优异的长期精度保持性，特别适合需要重复定位稳定性极高的应用场景。

直线电机驱动方案在超精密定位任务中表现尤为出色：即使在极低速度下仍能保持平稳运动，无爬行现象；在高速运行时亦不产生机械振动，避免了非线性控制行为，各位置点均可精确控制。同时，直线电机具有极高的力的线性度，可根据实际需求任意设定和精确控制驱动力，为复杂轨迹跟踪和力控制应用提供可靠保障。

CES-ZX系列产品定位为高精度、高性价比的线性运动解决方案。直线电机直接驱动架构赋予其卓越的动态性能与定位精度，配合高响应线性驱动器和细间距光栅反馈系统，可实现最小步进0.3 μm的微量位移，满足精密对准与高重复性定位要求。产品行程范围覆盖50 mm至200 mm，最大负载达98 N至196 N（约10–20 kg），最大运行速度可达200 mm/s，兼顾速度、负载与精度的综合平衡。

CES-ZX系列支持单轴独立运行，亦可通过本体上预留的标准安装孔位灵活组合成XY、XZ等多轴运动系统，适应不同应用场景的布局需求。产品广泛应用于半导体制造、液晶面板检测、微电子封装、精密微装配、自动光学检测（AOI）、显微观测及微纳加工等领域，具有高效、稳定、智能的显著特点。同时，CORZC具备定制化研发与制造能力，可根据客户特定应用需求，提供更高精度、更灵活的系统级解决方案。

产品属性

电机类型	直线电机	有效行程	50-200 mm
最大速度	200 mm/s	主体材质	铝合金发黑

高精度直线电机线性位移台，行程：50~200 mm

CORZC提供的CES-ZX系列高精度直线电机线性位移台，有50、150、200 mm行程可选，采用直线电机直接驱动，动态性能和定位精度高，可单轴独立使用，也可以通过位移台设置的安装孔实现多轴系统。CES-ZX系列产品具有负载98~196N，最大速度200mm/s的优越性能，配以高响应线驱，小间距光栅，可以实现0.3μm最小步进微量，CES-ZX产品需要搭配直线电机控制器CES-C1使用。CORZC具备定制化研发与制造能力，可根据客户特定应用需求，提供更高精度、更灵活的系统级解决方案。

有效行程：50、150、200mm可选
主体材质：铝合金发黑
直线电机直接驱动，无回程差

型号					交期	型号参数
CES-ZX50	50 mm	±1 μm	0.1 μm	无	联系客服	点击放大高精度直线电机线性位移台，行程：50 mm，负载能力：196 N（20 kgf），台面M6和M4螺纹孔型号参数与资料主体材质铝合金发黑电机类型直线电机有效行程 50 mm 负载 20 kg 分辨率 0.1 μm 最小步进量 0.3 μm 单向重复定位精度 ±1 μm 双向重复定位精度 ±3 μm 定位精度 ±1 μm 最大速度 200 mm/s 直线度 5 μm 平面度 5 μm 偏摆 10 μrad 俯仰 10 μrad 持续推力 35.2 N 峰值推力 176 N 重量 3 kg 控制器及电源无台面螺纹孔规格 M6螺纹孔/17个，M4螺纹孔/8个安装孔规格 Ø6.4 mm/8个（贯穿），Ø11 mm沉孔/8个台面尺寸 150×115 mm 外观尺寸 260×115×50 mm a.负载参数为水平安装状态下、垂直于平台台面的中心承载能力。 b.最小运动增量不等同于分辨率。最小运动增量指运动系统在连续、稳定运行条件下所能实现的最小可控位移量，通常系统分辨率远小于该值。受传动结构与编码器误差的影响，直线电机位移台的最小运动增量较步进电机位移台更接近于其分辨率。 c.定位精度、重复定位精度、直线度、平整度等精度相关数据，均为平台水平放置时采用激光干涉仪实测所得。 d.最大速度为标准参考值，实际应用中会因负载条件及控制器配置不同而有所变化。
CES-ZX150	150 mm	±2/4 μm	0.1 μm	无	联系客服	点击放大高精度直线电机线性位移台，行程：150 mm，负载能力：196 N（20 kgf），台面M6和M4螺纹孔型号参数与资料主体材质铝合金发黑电机类型直线电机有效行程 150 mm 负载 20 kg 分辨率 0.1 μm 最小步进量 0.3 μm 单向重复定位精度 ±0.5/1 μm 双向重复定位精度 ±1/2 μm 定位精度 ±2/4 μm 最大速度 200 mm/s 直线度 5 μm 平面度 5 μm 偏摆 15 μrad 俯仰 15 μrad 持续推力 35.2 N 峰值推力 176 N 重量 4.4 kg 控制器及电源无台面螺纹孔规格 M6螺纹孔/17个，M4螺纹孔/8个安装孔规格 Ø6.4 mm/8个（贯穿），Ø11 mm沉孔/8个台面尺寸 150×115 mm 外观尺寸 360×115×50 mm a.负载参数为水平安装状态下、垂直于平台台面的中心承载能力。 b.最小运动增量不等同于分辨率。最小运动增量指运动系统在连续、稳定运行条件下所能实现的最小可控位移量，通常系统分辨率远小于该值。受传动结构与编码器误差的影响，直线电机位移台的最小运动增量较步进电机位移台更接近于其分辨率。 c.定位精度、重复定位精度、直线度、平整度等精度相关数据，均为平台水平放置时采用激光干涉仪实测所得。 d.最大速度为标准参考值，实际应用中会因负载条件及控制器配置不同而有所变化。
CES-ZX200	200 mm	±2/4 μm	0.1 μm	无	联系客服	点击放大高精度直线电机线性位移台，行程：200 mm，负载能力：98 N（10 kgf），台面M6和M4螺纹孔型号参数与资料主体材质铝合金发黑电机类型直线电机有效行程 200 mm 负载 10 kg 分辨率 0.1 μm 最小步进量 0.3 μm 单向重复定位精度 ±0.5/1 μm 双向重复定位精度 ±1/2 μm 定位精度 ±2/4 μm 最大速度 200 mm/s 直线度 5 μm 平面度 5 μm 偏摆 20 μrad 俯仰 20 μrad 持续推力 17.6 N 峰值推力 88 N 重量 4 kg 控制器及电源无台面螺纹孔规格 M6螺纹孔/17个，M4螺纹孔/8个安装孔规格 Ø6.4 mm/8个（贯穿），Ø11 mm沉孔/8个台面尺寸 115×115 mm 外观尺寸 360×115×50 mm a.负载参数为水平安装状态下、垂直于平台台面的中心承载能力。 b.最小运动增量不等同于分辨率。最小运动增量指运动系统在连续、稳定运行条件下所能实现的最小可控位移量，通常系统分辨率远小于该值。受传动结构与编码器误差的影响，直线电机位移台的最小运动增量较步进电机位移台更接近于其分辨率。 c.定位精度、重复定位精度、直线度、平整度等精度相关数据，均为平台水平放置时采用激光干涉仪实测所得。 d.最大速度为标准参考值，实际应用中会因负载条件及控制器配置不同而有所变化。

高精度直线电机线性位移台，行程：50~200 mm，套件

CORZC提供的CES-ZX系列高精度直线电机线性位移台，有50、150、200 mm行程可选，采用直线电机直接驱动，动态性能和定位精度高，可单轴独立使用，也可以通过位移台设置的安装孔实现多轴系统。CES-ZX系列产品具有负载98~196N，最大速度200mm/s的优越性能，配以高响应线驱，小间距光栅，可以实现0.3μm最小步进微量。该系列产品配套了电机控制器和电源，客户购买后可直接使用。控制器提供完善的PC端控制软件下载，软件提供常规的控制操作外，还自带C/C++等多种语言和LabVIEW驱动，方便科研人员进行二次开发。同时，CORZC具备定制化研发与制造能力，可根据客户特定应用需求，提供更高精度、更灵活的系统级解决方案。

有效行程：50、150、200mm可选
主体材质：铝合金发黑
直线电机直接驱动，无回程差
含控制器及电源

型号					交期	型号参数
CES-ZX50C	50 mm	±1 μm	0.1 μm	有	联系客服	点击放大高精度直线电机线性位移台，行程：50 mm，负载能力：196 N（20 kgf），台面M6和M4螺纹孔，含控制器及电源型号参数与资料主体材质铝合金发黑电机类型直线电机有效行程 50 mm 负载 20 kg 分辨率 0.1 μm 最小步进量 0.3 μm 单向重复定位精度 ±1 μm 双向重复定位精度 ±3 μm 定位精度 ±1 μm 最大速度 200 mm/s 直线度 5 μm 平面度 5 μm 偏摆 10 μrad 俯仰 10 μrad 持续推力 35.2 N 峰值推力 176 N 重量 3 kg 控制器及电源有台面螺纹孔规格 M6螺纹孔/17个，M4螺纹孔/8个安装孔规格 Ø6.4 mm/8个（贯穿），Ø11 mm沉孔/8个台面尺寸 150×115 mm 外观尺寸 260×115×50 mm a.负载参数为水平安装状态下、垂直于平台台面的中心承载能力。 b.最小运动增量不等同于分辨率。最小运动增量指运动系统在连续、稳定运行条件下所能实现的最小可控位移量，通常系统分辨率远小于该值。受传动结构与编码器误差的影响，直线电机位移台的最小运动增量较步进电机位移台更接近于其分辨率。 c.定位精度、重复定位精度、直线度、平整度等精度相关数据，均为平台水平放置时采用激光干涉仪实测所得。 d.最大速度为标准参考值，实际应用中会因负载条件及控制器配置不同而有所变化。
CES-ZX150C	150 mm	±2/4 μm	0.1 μm	有	联系客服	点击放大高精度直线电机线性位移台，行程：150 mm，负载能力：196 N（20 kgf），台面M6和M4螺纹孔，含控制器及电源型号参数与资料主体材质铝合金发黑电机类型直线电机有效行程 150 mm 负载 20 kg 分辨率 0.1 μm 最小步进量 0.3 μm 单向重复定位精度 ±0.5/1 μm 双向重复定位精度 ±1/2 μm 定位精度 ±2/4 μm 最大速度 200 mm/s 直线度 5 μm 平面度 5 μm 偏摆 15 μrad 俯仰 15 μrad 持续推力 35.2 N 峰值推力 176 N 重量 4.4 kg 控制器及电源有台面螺纹孔规格 M6螺纹孔/17个，M4螺纹孔/8个安装孔规格 Ø6.4 mm/8个（贯穿），Ø11 mm沉孔/8个台面尺寸 150×115 mm 外观尺寸 360×115×50 mm a.负载参数为水平安装状态下、垂直于平台台面的中心承载能力。 b.最小运动增量不等同于分辨率。最小运动增量指运动系统在连续、稳定运行条件下所能实现的最小可控位移量，通常系统分辨率远小于该值。受传动结构与编码器误差的影响，直线电机位移台的最小运动增量较步进电机位移台更接近于其分辨率。 c.定位精度、重复定位精度、直线度、平整度等精度相关数据，均为平台水平放置时采用激光干涉仪实测所得。 d.最大速度为标准参考值，实际应用中会因负载条件及控制器配置不同而有所变化。
CES-ZX200C	200 mm	±2/4 μm	0.1 μm	有	联系客服	点击放大高精度直线电机线性位移台，行程：200 mm，负载能力：98 N（10 kgf），台面M6和M4螺纹孔，含控制器及电源型号参数与资料主体材质铝合金发黑电机类型直线电机有效行程 200 mm 负载 10 kg 分辨率 0.1 μm 最小步进量 0.3 μm 单向重复定位精度 ±0.5/1 μm 双向重复定位精度 ±1/2 μm 定位精度 ±2/4 μm 最大速度 200 mm/s 直线度 5 μm 平面度 5 μm 偏摆 20 μrad 俯仰 20 μrad 持续推力 17.6 N 峰值推力 88 N 重量 4 kg 控制器及电源有台面螺纹孔规格 M6螺纹孔/17个，M4螺纹孔/8个安装孔规格 Ø6.4 mm/8个（贯穿），Ø11 mm沉孔/8个台面尺寸 115×115 mm 外观尺寸 360×115×50 mm a.负载参数为水平安装状态下、垂直于平台台面的中心承载能力。 b.最小运动增量不等同于分辨率。最小运动增量指运动系统在连续、稳定运行条件下所能实现的最小可控位移量，通常系统分辨率远小于该值。受传动结构与编码器误差的影响，直线电机位移台的最小运动增量较步进电机位移台更接近于其分辨率。 c.定位精度、重复定位精度、直线度、平整度等精度相关数据，均为平台水平放置时采用激光干涉仪实测所得。 d.最大速度为标准参考值，实际应用中会因负载条件及控制器配置不同而有所变化。