产品说明
CORZC紧凑型压电扫描台(PSS-CX100)是一款专为空间受限场景设计的高性能三维精密定位设备,机身尺寸仅为40 mm × 40 mm × 40 mm,重量仅200 g,却在极小体积内实现了XYZ三轴各100 μm的精密运动行程,为显微操作、光纤端面对准及纳米压印光刻等狭小空间应用提供了可靠的三维精确定位解决方案。
该扫描台采用铝合金主体与电容式位置传感器闭环控制架构,闭环重复定位精度高达6 nm,开环分辨率更可达0.5 nm,在微小体积内实现了纳米级甚至亚纳米级的操控能力。平台刚性为0.6 N/µm,共振频率最高750 Hz,确保快速响应与稳定跟随,满足动态扫描与高速定位需求。最大负载200 g,虽轻巧但足以承载微小光学元件、探针或光纤等组件。
线缆配置方面,采用屏蔽线缆与标准D-Sub接口,可与PMC-G系列控制器实现无缝连接,系统集成便捷高效。无论是显微镜下的细胞操作、光纤端面对准,还是纳米压印光刻,PSS-CX100都能在狭小空间中提供可靠的三维精确定位。
此外,CORZC还提供超无磁型版本、真空型版本及超高真空型版本等多种定制配置,以适应不同工作环境要求。如需了解更多选型信息或定制方案,请联系CORZC技术支持。
产品属性
| 主体材质 | 铝合金 | 行程 | 100 μm |
| 位置传感器类型 | 电容式位置传感 | 最大负载 | 200 g |