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紧凑型压电扫描台

产品说明

     CORZC紧凑型压电扫描台(PSS-CX100)是一款专为空间受限场景设计的高性能三维精密定位设备,机身尺寸仅为40 mm × 40 mm × 40 mm,重量仅200 g,却在极小体积内实现了XYZ三轴各100 μm的精密运动行程,为显微操作、光纤端面对准及纳米压印光刻等狭小空间应用提供了可靠的三维精确定位解决方案。

     该扫描台采用铝合金主体与电容式位置传感器闭环控制架构,闭环重复定位精度高达6 nm,开环分辨率更可达0.5 nm,在微小体积内实现了纳米级甚至亚纳米级的操控能力。平台刚性为0.6 N/µm,共振频率最高750 Hz,确保快速响应与稳定跟随,满足动态扫描与高速定位需求。最大负载200 g,虽轻巧但足以承载微小光学元件、探针或光纤等组件。

     线缆配置方面,采用屏蔽线缆与标准D-Sub接口,可与PMC-G系列控制器实现无缝连接,系统集成便捷高效。无论是显微镜下的细胞操作、光纤端面对准,还是纳米压印光刻,PSS-CX100都能在狭小空间中提供可靠的三维精确定位。

    此外,CORZC还提供超无磁型版本、真空型版本及超高真空型版本等多种定制配置,以适应不同工作环境要求。如需了解更多选型信息或定制方案,请联系CORZC技术支持

产品属性

主体材质铝合金行程100 μm
位置传感器类型电容式位置传感最大负载200 g


紧凑型XYZ轴压电扫描台

CORZC PSS-CX100紧凑型压电扫描台机身仅40×40×40 mm、重200 g,提供XYZ三轴各100 μm行程,闭环重复定位精度6 nm、开环分辨率0.5 nm;铝合金主体配合电容式传感器,刚性0.6 N/µm、共振频率750 Hz,最大负载200 g,适配PMC-G控制器与屏蔽线缆D-Sub接口,适用于显微操作、光纤对准及纳米压印光刻等狭小空间内的纳米级三维精密定位场景。

  • 压电陶瓷堆叠驱动
  • 无摩擦柔顺结构导向
  • 内置电容传感器,闭环控制
  • 直接位置检测
  • 亚纳米级位置分辨率
  • 超小型并联多轴结构
  • 可定制超无磁型、真空型及超高真空版本
型号 3D预览 对比 分享 交期 采购 型号参数
PSS-CX100 XYZ:100 μm 1/0.5 nm 200 g 0.6 N/µm 6周
PSS-CX100 点击放大
紧凑型XYZ轴压电扫描台,室温压电,行程:100 μm,重复定位精度:6 nm,负载能力:1.96 N(200gf)
型号参数与资料
主体材质 铝合金
运动方向和行程(闭环) XYZ:100 μm
线性误差度 0.02%
重复定位精度 6 nm
运动分辨率(闭环) 1 nm
运动分辨率(开环) 0.5 nm
刚性 0.6 N/µm
共振频率,0负载(±20%) XYZ:750 Hz
共振频率,0.2kg负载(±20%) XYZ:230 Hz
最大负载 200 g
位置传感器类型 电容式位置传感
线缆和接头 屏蔽线缆, D-Sub 7W2
控制器规格 PMC-G
台面孔规格 M2×3/4个
安装孔规格 Ø2.8 mm/2个
重量 200 g
外形尺寸 40×40×40 mm
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